性能指标：光学系统规格
| 物镜 | 目镜 | 显微镜 | 工作 距离 | 视场 直径 | ||
| 放大倍数 | 焦距 | 放大倍数 | 焦距 | 放大倍数 | ||
| 2.5×/0.08 | 43.40 | 10× | 25.00 | 25× | 58.84 | 5.6 |
| 10×/0.25 | 17.13 | 100× | 7.81 | 1.6 | ||
测量工作台读数装置主要规格
X轴遇到测量范围50nmY轴遇到测量范围13nm测量器分度值：0.01nm测量台转动范围不限：NO limit测量台刻度盘分度范围：0°～360°测量台刻度盘之分度值：1°测量台刻度盘游标读数示值：6’测量精度：仪器示值误差：± （4+L/15）μ m仪器示值误差：包括测量误差和系统误差注：测量地点温度变化20℃ ±3℃，L--被测件长度